|
|
Анализаторы влажности газов серии 5900UHP
Анализаторы моделей этой серии – 5910 UHP и 5920 UHP, - предназначены для определения влажности в сверхчистых газах, применяемых в производстве электронных компонентов. Анализаторы используют пьезокристаллический принцип измерения. Для проверки правильности показаний на потоке анализаторы оснащены встроенной системой коррекции нуля, а также генератором влажности, работающим в диапазоне единиц ppb и использующим изменение температуры для создания необходимого уровня влажности. Возможно исполнение анализаторов для монтажа в стойку 19" для работы в системах подачи газовых смесей.
Анализаторы могут быть использованы и для других задач, где требуется прецизионное измерение влажности газов на предельно низком уровне.
Особенности:
- Быстрый отклик
- Высокая чувствительность и низкая погрешность в диапазоне ppb
- Совместимость с большинством газов, используемых при производстве микросхем, включая кислород, водород и их смеси
- Возможность проверки правильности измерений встроенным генератором влажности
- Пьезокристаллические анализаторы для измерения влажности - на уровне ppb и ppt - сверхчистых газов, используемых при производстве электронных компонентов, оптоволокон, гетеро- и наноструктур.
- Измерения в диапазоне 0,1 ... 1000 ppbv
Основные технические характеристики
Диапазон измерения |
от 0...170 ppbv до 0...1000 ppbv |
Погрешность* |
±100 pptv или ±10% показания, что больше |
Параметры анализируемого газа |
давление: 50...700 кПа; температура: 0...100°С |
Габариты, мм |
480 х 180 х 509 |
Масса, кг |
16 |
|
|